文章摘要
曹培江,解振宇,韩舜,柳文军,贾芳,曾玉祥,朱德亮,吕有明.不同氧流量条件下ZnO纳米棒阵列的形成及机理分析[J].材料导报,2014,28(14):1-3
不同氧流量条件下ZnO纳米棒阵列的形成及机理分析
Formation and Mechanism Analysis of ZnO Nanorod Arrays Fabricated at Different Oxygen Flow Rates
  
DOI:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.14.001
中文关键词: ZnO纳米棒阵列 化学气相沉积 发光性能
英文关键词: ZnO nanorod arrays, CVD, optical property
基金项目:国家自然科学基金(60976036;51371120;51302174);深圳市科技计划项目
作者单位
曹培江 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室深圳陶瓷先进技术工程实验室深圳 518060 
解振宇 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室深圳陶瓷先进技术工程实验室深圳 518060 
韩舜 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室深圳陶瓷先进技术工程实验室深圳 518060 
柳文军 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室深圳陶瓷先进技术工程实验室深圳 518060 
贾芳 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室深圳陶瓷先进技术工程实验室深圳 518060 
曾玉祥 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室深圳陶瓷先进技术工程实验室深圳 518060 
朱德亮 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室深圳陶瓷先进技术工程实验室深圳 518060 
吕有明 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室深圳陶瓷先进技术工程实验室深圳 518060 
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中文摘要:
      采用脉冲激光沉积结合化学气相沉积方法在p-Si(111)衬底上制备了呈直立生长的ZnO纳米棒阵列,并且研究了氧流量对ZnO纳米棒尺寸、结晶特性等性质的影响。研究结果表明,在没有氧气的环境下无法生长ZnO纳米棒;随氧流量减小,不同晶面上ZnO生长速率的不同导致ZnO纳米棒长度减小、直径变粗、结晶质量变差、纳米棒面密度减小。氧流量的减小使得ZnO纳米棒中的氧空位缺陷含量增加,导致位于约520 nm处的绿光峰增强。
英文摘要:
      ZnO nanorod arrays perpendicular to the substrates′ surface were fabricated on p-type single crystal silicon substrates by pulsed laser deposition (PLD) and chemical vapor deposition (CVD) methods. The effects of different oxygen flow rates on the size, crystalline property, and so on of ZnO nanorods have been studied and following results have been obtained. ZnO nanorod can′t grow with no oxygen gas participating. With the decrease of oxygen flow rate, the difference of ZnO growth rate on different ZnO crystal face leads to that the length of ZnO nanorod becomes shorter, the diameter of ZnO nanorod becomes thicker, the crystalline property of ZnO nanorod becomes poor and the surface density of ZnO nanorod decreases. The decrease of oxygen flow rate leads to the increase of VO content in ZnO nanorod, and consequently results in the enhancement of green light band at about 520 nm.
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