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超纳米金刚石薄膜及其在MEMS上的应用研究进展
李建国
1
,丰 杰
1,2
,梅 军
1
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1 中国工程物理研究院总体工程研究所,绵阳 621900;2 中南工业大学材料科学与工程学院,长沙 410083
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2008年9月第4期
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